沈天慧

沈天慧，半导体化学家 1923年4月27日生于浙江嘉善，籍贯浙江杭州。1949年毕业于上海大同大学化工系。1957年至1959年赴苏联进修。上海交通大学教授。1980年当选为中国科学院学部委员(院士)。2011年1月2日逝世。

参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966-1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺，研制出大规模集成电路数种，当时在国内处于领先地位。1987年后，从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作，已制出直径为2mm的微马达。

　　相关院校：

上海交通大学

梁晓天 (1923～2009) 中国科学院院士 河南省漯河市舞阳县

吴全德 (1923～2005) 中国科学院院士 浙江省台州黄岩

吴式枢 (1923～2009) 中国科学院院士 江西省抚州市宜黄

李林 (1923～2002) 中国科学院院士 湖北省黄冈市

夏培肃 (1923～2014) 中国科学院院士 重庆市江津区

施雅风 (1919～2011) 中国科学院院士 江苏省南通海门

罗沛霖 (1913～2011) 中国科学院院士,中国工程院院士 天津市河北区

王大珩 (1915～2011) 中国科学院院士,中国工程院院士 江苏省苏州

吴阶平 (1917～2011) 中国科学院院士,中国工程院院士 江苏省常州

李志坚 (1928～2011) 中国科学院院士 浙江省宁波

蒋民华 (1935～2011) 中国科学院院士 浙江省台州临海